殺菌能力高于甲醛、二氧化硫、高錳酸鉀用氯制劑等消毒劑；

　　殺菌后剩余的臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘留造成污染，這一點是任何化學消毒劑所無法比擬的。

　　2、 臭氧殺菌與紫外線照射殺菌相比同樣具有特殊的優(yōu)越性：

　　3、臭氧到處滲透，沒有死角。紫外線只有照射到內置式臭氧發(fā)生器物體表面且達到一定的照射強度標準才有殺菌效果。食品車間一般比較高大，致使紫外線照射強度遠遠不夠，特別是距離遠，照射產生很大死角，如加工案板下部等。臭氧為氣體，滲透性強，擴散性好，濃度均勻，沒有死角；

　　4、殺菌速度快。紫外線照射殺菌需要較長的作用時間，一般要照射6小時以上，而符合標準濃度的臭氧只需開機1小時以上；

　　5、高濕度下殺菌效果更好。 紫外線照射殺菌在環(huán)境相對濕度達到60%以上時，消毒效果急劇下降，濕度達到80%以上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高，殺菌效果越好。這是由于高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織容易被臭氧破壞，這一特性對于食品行業(yè)中普遍存在的高濕環(huán)境特別適合；

　　6、有低濃度保潔功能。紫外線照射時生產人員必須離開現(xiàn)場，照射完成后無法用低功率的紫外線照射保潔；臭氧消毒時生產人員必須離開現(xiàn)場，消毒完成后可以調低臭氧發(fā)生量，用符合國家衛(wèi)生標準的低濃度臭氧繼續(xù)保持生產車間的空氣清潔。