臭氧滅活時間迅速，是氯的300—600倍，紫外線的3000倍。

　　臭氧水消毒滅菌是急速的，消毒作用在瞬間發生。

　　當濃度在0.5mg/L時，05-1分鐘內就可殺死細菌。

　　在濃度達4mg/L，在1分鐘內乙肝病毒滅活率為100%。

　　低濃度時，臭氧濃度在0.0136mg/L時，30分鐘能使乙肝病毒表面抗原(HbsAg)破壞99.99%。

　　溢出到空氣中的臭氧亦可對空氣起消毒作用，0.5PPM的臭氧可滅活空氣的甲型流感病毒99%。